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台达电源闪亮成都光刻机

发布日期：2009-08-18

激光标刻机的核心部件是YLM系列单模连续波段掺镱光纤激光模块，主要为免维护的OEM应用面设计。YLM二极管泵浦光纤激光通过一条带有金属护套的单模光纤传导光束直径为1.07微米，接近衍射极限（M²＜1.05）高质量激光束，高可靠性的直流电源在SCAPS公司专用控制卡的控制下驱动单模连续波段掺镱光纤激光模块、单模连续波段掺镱光纤激光模块发出的970±10nm的激光被耦合到加金属护套的5mm传输光纤中使掺镱双包层光纤中产生1.06微米波长的激光，激光在传输过程中不断被放大后扩束输出。扩束后的激光束投射到振镜扫描器上，通过计算机控制振镜快速转动及激光的开关，使激光束在X、Y方向扫描，通过F-θ透镜聚集形成几微米直径的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬间烧蚀，最后在件表面形成需要的各种图形符号。

1、整机结构紧凑，占用空间小，与进口贴片分选设备充分兼容，接口直接配合、简单易用。

2、基础配置，采用进口Fiber（光纤）小功率风冷激光器，高速振镜扫描系统，打印准确精致。

3、激光打印系统控制核心，Laser Marking System购筑在Windows XP平台上，控制软件采用SCAPS软件，控制卡采用高速USB2.0控制输入，性能卓越稳定，使用操作简便，并可根据客户的需求，随时升级程序。

4、根据客户需求，可实现脱机运行操控，一台电脑主机操作多台激光打印终端，标刻终端由PDA操控。

5、国内首创，更小巧，更灵活。

6、直接编辑印章和同时打印多种规格印章，自动记数功能，随意设置标刻数量及统计所标记管子总数，设置数值高达十亿位数。

光刻机图片

光刻机雕刻样品图片

二、台达电源在光刻机上成功应用

1、电压要求

光刻设备工作电压为直流28V，台达输出直流电压为28V，完全符合使用要求。

2、使用方式要求

需要有正负28V电源输出，个电源正端与第二个电源的负端共地使用，而且两个输出相互之间不能互扰。

3、电源体积要求

由于设备整机结构紧凑，占用空间小的要求，所以要求电源等各种元器件能够尽量的小巧，不占用更多的空间。台达电源采用导轨式，呈扁平型，尺寸为：126x32x113，安装占用空间非常小，得到设备厂家和最终用户的一致认可。

4、电源稳定度要求

由于光刻机激光光束需要高可靠性的直流电源，所以在电源的稳定性和纹波上要求非常严格。台达电源直流输出电压残余波< 50 mV，波峰切换(20MHz) (在正常值) < 240 mVpp，体现了良好的输出特性。

5、电磁干扰

由于激光雕刻机是一个精密的设备，其电压的好坏直接影响激光的稳定程度，也就直接影响光刻效果，所以其电磁防护等级要求也非常高。不仅自己不能够被外界电磁干扰，以免输出电压精度不高，同时自身也不能够产生干扰，以免干扰其他设备的正常工作。台达电源通过了EMC及防干扰认证，很好的保证了现场使用的要求。

综上所述，虽然光刻机设备对电源的使用提出了十分高的要求，但是台达电源以优越的性能很好的解决了实际过程中遇到的各种难题，把各种任务完成得非常的漂亮，由于完美的表现也赢得了客户的一片赞誉！当然，良好的表现源于良好的硬件功夫，台达电源有此卓越的表现，也是源于台达电源有很多优异的硬件指标参数和特点，下面列出了台达的基本参数及特点。

三、台达导轨式基本参数及特点

1、基本参数

过载保护	有
过压保护	有
过热保护	有
功率提升	提升到150%可持续1秒
MTBF	>300K小时
预期寿命	10年
输出保持时间	>20ms(115V,满载)
冗余	有
保质期	3年
输入规格
输入电压范围	90~264V
输入频率	47~63HZ
输入电流	1.7A(230V)
效率	>86%
功率因数	EN61000-3-2 STD.
冲击电流	<50A(230V)
漏流	<1mA(240V)
输出规格
输出电压范围	22~28V
波纹噪声电压	<240mV(85~264V输入)
输出电流	2.5A
输入变动	<0.5%(85~264V输入，满载)
负载变动	<1%(额定输入，0~满载)
机械设计
噪音	<40dBA
尺寸	126×32×113mm(L×W×H)
冷却	空气对流
输入端	M4*3
输出端	M4*2
底托横档	TS35标准
耐冲击	IEC 60068-2-27
抗振	IEC 60068-2-6
防护结构	EN60950 (根据IP20)
安全
EMC\放射性	B级／EN55022;CISPR22,B级;FCC TITLE 47;EN1204-3(B级[AC]和A级[DC])
免疫力	EN61000-4-2,1995; EN61000-4-3,1998; EN61000-4-4,1995; IEC61000-4-5,1995; EN61000-4-6,1996; IEC61000-4-12或 IEEE C62.41; EN61000-3-3,1994
认证	UL508,EN60950,CULUS60950,EN50178,EN60204,GS
电压暂降	EN61000-4-11
耐压	输入到输出:3KV;输入到地:1.5KV;输出到地:500V
产品环境条件
工作温度	"-20~+70度"
保存温度	"-25~+85度"
工作湿度	<95%

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